Предложен механизм деградации тонкопленочных проводящих межсоединений в интегральных схемах за счет вязкости электронного газа в условиях значительного градиента дрейфовой скорости электронов. Показано, что при плотности электрического тока j >= 106 А/см2 вязкость электронного газа обусловливает развитие в тонкопленочных проводниках локальных внутренних напряжений и локальное выделение тепла, сопоставимое по величине с джоулевым теплом. На основе представленного механизма проведен анализ различия результатов экспериментального определения величины эффективного заряда методом меток и с помощью рентгенографического измерения деформации, вызванной электромиграцией. Установлено, что подобное расхождение можно объяснить, если учесть вязкость электронного газа.

А.А. Карпушин, А.Н. Сорокин, А.В. Панин, А.Р. Шугуров   Вязкость электронного газа как одна из причин деградации металлических межсоединений в интегральных схемах // Физ. мезомех. - 2002. - Т. 5. - № 2. - С. 51-55