УДК 538.971 + 62-761

 

Методами сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии исследованы закономерности разрушения покрытий SiAlN на подложках Cu при одноосном растяжении. Показано, что скалывание покрытий происходит в зонах локальной кривизны границы раздела «SiAlN - Cu», образующихся в результате скольжения дислокаций в подложке. Предварительная ионная бомбардировка подложки позволяет подавить выход дислокаций на границу раздела «покрытие - подложка», а также повысить адгезионную прочность покрытий и предотвратить их краевое отслоение. В то же время возникающая в результате ионной бомбардировки волнистая граница раздела «покрытие - подложка» приводит к появлению нормальных к ней напряжений, которые обусловливают коробление и скалывание покрытий в областях положительной локальной кривизны границы раздела. 

 

А.Р. Шугуров, А.В. Панин  Влияние локальной кривизны границы раздела «покрытие – подложка» на деформацию и разрушение керамических покрытий при одноосном растяжении // Физ. мезомех. - 2016. - Т. 19. - № 3. - С. 78-85