Институт физики прочности и материаловедения СО РАН

Том 7 (2004)

Установка ионно-магнетронного напыления нанокристаллических покрытий (КВАНТ)

В.П. Сергеев1, В.П. Яновский1, Ю.Н. Параев1, О.В. Сергеев1, Д.В. Козлов1, С.А. Журавлев1

1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, 634021, Россия

В работе дано описание конструктивных особенностей вакуумной установки «КВАНТ», предназначенной для ионно-магнетронного напыления покрытий с нанокристаллической структурой. Приводятся технические характеристики установки, описание некоторых методов напыления и результаты исследований структуры и механических свойств нанокристаллических покрытий, полученных на установке.

стр. 333 – 336

Образец цитирования:
В.П. Сергеев, В.П. Яновский, Ю.Н. Параев, О.В. Сергеев, Д.В. Козлов, С.А. Журавлев  Установка ионно-магнетронного напыления нанокристаллических покрытий (КВАНТ) // Физ. мезомех. - 2004. - Т. 7. - № Спец2. - С. 333-336


вернуться