Исследованы условия получения нанокристаллических слабоагломерированных материалов при помощи плазмы дугового разряда низкого давления. Исследованные системы включают TiN, TiO2, ZnO, Cu2O. Как правило, слабоагломерированные нанопорошки получаются при температуре подложки ~300 K и постоянном давлении газа 10–200 Па. Методами электронной микроскопии и рентгеноструктурного анализа показано, что частицы порошка представляют собой монокристаллы округлой формы и средним размером менее 10 нм. На поверхности высажен аморфный конденсат с размером частиц менее 2 нм. Отсутствие крупных частиц объясняется термическими эффектами, происходящими в прикатодной области вакуумной дуги.

А.В. Ушаков, В.Е. Редькин  Получение нанокристаллических материалов при помощи дугового разряда низкого давления // Физ. мезомех. - 2004. - Т. 7. - № Спец2. - С. 61-64