Институт физики прочности и материаловедения СО РАН

Том 7 (2004)

Сверхтвердые нанокристаллические покрытия

А.Д. Коротаев1, А.Н. Тюменцев2, Ю.П. Пинжин2, С.В. Овчинников2, Н.Н. Коваль3, И.М. Гончаренко3

1Сибирский физико-технический институт, Томск, 634050, Россия
2Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, 634021, Россия
3Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, 634055, Россия

Методами рентгеноструктурного анализа и электронной микроскопии выполнено исследование особенностей субструктуры и величины локальных внутренних напряжений в нано- и нанокомпозитных покрытиях TiN, n-TiN/Cu, n-AlN/Cu вблизи поверхности их сопряжения с подложкой и на расстоянии h = 2–3 мкм. Показано, что в покрытиях n-AlN/Cu по всей толщине обнаруживается нанозеренная (d < 20–25 нм) структура, тогда как в покрытиях нитрида титана наблюдается двухуровневая зеренная структура, высокая кривизна-кручение решетки и высокий уровень локальных внутренних напряжений. Предполагается, что указанные особенности связаны с механизмом роста покрытий.

стр. 3 – 7

Образец цитирования:
А.Д. Коротаев, А.Н. Тюменцев, Ю.П. Пинжин, С.В. Овчинников, Н.Н. Коваль, И.М. Гончаренко  Сверхтвердые нанокристаллические покрытия // Физ. мезомех. - 2004. - Т. 7. - № Спец2. - С. 3-7


вернуться