Институт физики прочности и материаловедения СО РАН

Том 9 (2006)

Магнетронное напыление низкоэмиссионных покрытий

В.П. Яновский1, О.С. Кузьмин1, В.П. Сергеев1, Л.Г. Косицын1, А.Н. Падусенко1

1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, 634021, Россия

В работе приведены результаты исследования низкоэмиссионных покрытий, полученных методом магнетронного напыления с ионным ассистированием на вакуумной установке, разработанной для обработки листового архитектурного стекла размером 2.6x1.605 м, и описание оригинальных устройств технологической установки.

стр. 189 – 192

Образец цитирования:
В.П. Яновский, О.С. Кузьмин, В.П. Сергеев, Л.Г. Косицын, А.Н. Падусенко  Магнетронное напыление низкоэмиссионных покрытий // Физ. мезомех. - 2006. - Т. 9. - № СпецВ. - С. 189-192


вернуться