Институт физики прочности и материаловедения СО РАН

Том 9 (2006)

Определение твердости и модуля упругости тонких пленок Ti и TiO2

А.В. Панин2, А.Р. Шугуров2,3, К.В. Оскомов3,4

2Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Toмск, 634021, Россия
3Toмский государственный университет, Toмск, 634050, Россия
4Институт сильноточной электроники СО РАН, Toмск, 634055, Россия

Методом наноиндентирования проведено измерение твердости и модуля упругости тонких пленок Ti и TiO2 на подложке Si. Показано, что применение метода Оливера–Фарра в сочетании с вычислением истинной твердости позволяет корректно определить твердость тонких пленок, нанесенных на подложку, независимо от соотношения твердости пленки и подложки.

стр. 119 – 122

Образец цитирования:
А.В. Панин, А.Р. Шугуров, К.В. Оскомов  Определение твердости и модуля упругости тонких пленок Ti и TiO2 // Физ. мезомех. - 2006. - Т. 9. - № СпецВ. - С. 119-122


вернуться