Проведено исследование микроструктуры и фазового состава монослойных покрытий из нитрида титана, нанесенных методами ионно-плазменного напыления, вакуумно-дугового распыления и газо-фазного осаждения. Установлено, что тонкие монослойные покрытия TiN, полученные этими методами, имеют различную зеренную структуру и величину локальных внутренних напряжений. Химический состав всех покрытий близок к стехиометрическому.

С.В. Фортуна, Ю.П. Шаркеев  Особенности микроструктуры монослойных нитридных покрытий // Физ. мезомех. - 2000. - Т. 3. - № 3. - С. 29-35