Том 5 (2002)


Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота

А.В. Белый1

1Институт надежности машин НАН Беларуси, Минск, 220071, Беларусь


стр. 95 – 95

Образец цитирования:
А.В. Белый  Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота // Физ. мезомех. - 2002. - Т. 5. - № 1. - С. 95-95


вернуться