Предложена модель диффузии легирующего элемента в поверхностном слое материала, активированного ионно-лучевым воздействием. В рамках модели процесс характеризуется временем и глубиной активации. Продемонстрировано принципиальное значение учета активации поверхностного слоя для описания формирования диффузионной зоны. Теоретически показана возможность экспериментального определения параметров модели.

А.Г. Князева, С.Г. Псахье  Диффузия элементов в активированном поверхностном слое // Физ. мезомех. - 2006. - Т. 9. - № 2. - С. 49-54