Технология и оборудование для ионно-плазменного напыления покрытий на мелкоразмерные изделия
Назначение
Установка ионно-плазменного нанесения покрытия «Микра» предназначена для нанесения методом КИБ износостойких, коррозионно-стойких, защитно-декоративных покрытий (металл, нитриды, оксиды, карбиды и т.д.) на различные изделия из металла и ряда диэлектриков.
Краткая характеристика
Установка применяется для научных и технологических исследований в области физики плазмы и нанесения покрытий, модифицирующих свойства поверхности материалов, а также промышленной обработки партий мелкоразмерных изделий и инструментов.
Технико-экономические показатели
Предельный вакуум |
1.33x10-3 Па |
Время достижения предельного вакуума (не более) |
30 мин. |
Управление работой установки от загрузки до выгрузки стекла |
программное автоматическое. |
Скорость осаждения нитрида титана |
3 - 6 мкм/ч. |
Ток испарителя (плавно регулируемый) |
40 - 60 А. |
Ток источника низкотемпературной газовой плазмы |
2 - 10 А. |
Напряжение высоковольтного источника |
50 - 1000 В. |
Потребляемая мощность, не более |
5.5 кВт. |
Окупаемость установки |
2.5 года. |
Установочная площадь |
9 м2. |
Области применения
Установка применяется для разработки покрытий, получаемых методом ионно-плазменного напыления, а также для обработки мелкоразмерных изделий.
Основные преимущества
При создании установки были учтены недостатки прототипов и сохранены их достоинства. Установку отличают современные технические решения, высокая надежность и простота эксплуатации в сравнении с аналогами. Важными преимуществами являются малые габариты и современный дизайн.
К преимуществам установки относятся также низкое энерго- и ресурсопотребление, экономия расходных материалов и относительно малое время технологического цикла нанесения покрытия. Кроме того, имеющийся в установке источник низкотемпературой газовой плазмы (газовый источник), позволяет выполнять дополнительную внутрикамерную очистку изделий, что существенно улучшает качество покрытия.
Стадия разработки
Установка освоена и внедрена в 26 городах России и Казахстана. Имеется конструкторская и технологическая документация на технологию и установку. При наличие заказов Институт может изготовить до пяти установок в год.
Правовая защищенность
Патент RU 2204961. Дата регистрации 27.05.2003 г. Установка для нанесения защитно-декоративных покрытий на металлические зубные протезы.
Патент RU 2177275. Дата регистрации 27.12.2001 г. Способ очистки зубных металлических протезов в вакуумной камере перед нанесением защитно-декоративных ионно-плазменных покрытий.
Сертификация
На установку получено Санитарно-эпидемиологическое заключение о ее безопасности, технические условия на установку и на технологию нанесения покрытий.
Коммерческие предложения
Заключение договора на изготовление и поставку установки и технологии нанесения ионно-плазменных покрытий. Обеспечиваем обучение обслуживающего персонала, гарантийное обслуживание установки в течение одного года.
Контактная информация
Институт физики прочности и материаловедения СО РАН
634021, г. Томск, пр. Академический, 2/4
Тел.: +79069570684
Факс: +79609757037
E-mail: snejana.zvereva@yandex.ru, ionc@ispms.ru