Технология и оборудование для ионн...

Технология и оборудование для ионно-плазменного напыления покрытий на мелкоразмерные изделия

Назначение
Установка ионно-плазменного нанесения покрытия «Микра» предназначена для нанесения методом КИБ износостойких, коррозионно-стойких, защитно-декоративных покрытий (металл, нитриды, оксиды, карбиды и т.д.) на различные изделия из металла и ряда диэлектриков.

Краткая характеристика
Установка применяется для научных и технологических исследований в области физики плазмы и нанесения покрытий, модифицирующих свойства поверхности материалов, а также промышленной обработки партий мелкоразмерных изделий и инструментов.

Технико-экономические показатели

Предельный вакуум

1.33x10-3 Па

Время достижения предельного вакуума (не более)

30 мин.

Управление работой установки от загрузки до выгрузки стекла

программное автоматическое.

Скорость осаждения нитрида титана

3 - 6 мкм/ч.

Ток испарителя (плавно регулируемый)

40 - 60 А.

Ток источника низкотемпературной газовой плазмы

2 - 10 А.

Напряжение высоковольтного источника

50 - 1000 В.

Потребляемая мощность, не более

5.5 кВт.

Окупаемость установки

2.5 года.

Установочная площадь

9 м2.


Области применения

Установка ионно-плазменного нанесения покрытия «Микра»

Установка применяется для разработки покрытий, получаемых методом ионно-плазменного напыления, а также для обработки мелкоразмерных изделий.

Основные преимущества
При создании установки были учтены недостатки прототипов и сохранены их достоинства. Установку отличают современные технические решения, высокая надежность и простота эксплуатации в сравнении с аналогами. Важными преимуществами являются малые габариты и современный дизайн.

К преимуществам установки относятся также низкое энерго- и ресурсопотребление, экономия расходных материалов и относительно малое время технологического цикла нанесения покрытия. Кроме того, имеющийся в установке источник низкотемпературой газовой плазмы (газовый источник), позволяет выполнять дополнительную внутрикамерную очистку изделий, что существенно улучшает качество покрытия.

Стадия разработки
Установка освоена и внедрена в 26 городах России и Казахстана. Имеется конструкторская и технологическая документация на технологию и установку. При наличие заказов Институт может изготовить до пяти установок в год.

Правовая защищенность
Патент RU 2204961. Дата регистрации 27.05.2003 г. Установка для нанесения защитно-декоративных покрытий на металлические зубные протезы.
Патент RU 2177275. Дата регистрации 27.12.2001 г. Способ очистки зубных металлических протезов в вакуумной камере перед нанесением защитно-декоративных ионно-плазменных покрытий.

Сертификация
На установку получено Санитарно-эпидемиологическое заключение о ее безопасности, технические условия на установку и на технологию нанесения покрытий.

Коммерческие предложения
Заключение договора на изготовление и поставку установки и технологии нанесения ионно-плазменных покрытий. Обеспечиваем обучение обслуживающего персонала, гарантийное обслуживание установки в течение одного года.

Контактная информация
Институт физики прочности и материаловедения СО РАН
634021, г. Томск, пр. Академический, 2/4
Тел.: +79069570684
Факс: +79609757037
E-mail: snejana.zvereva@yandex.ru, ionc@ispms.ru

Назад